美國PE高效ICP（HPICP，High Performance Inductively Coupled Plasma），測量不確定度≤0.1%。該方法可同滴定法、重量法、同位素稀釋法相一致。我國很多標準均用化學法測量，化學法的測量準確度較高；同位素稀釋法雖然準，但同位素稀釋劑昂貴，同位素稀釋法所用的質譜議也昂貴。所以傳統上，要做到準確度≤0.1%，需消耗大量的時間和成本。
傳統上，ICP-OES一般的短期穩定性是1%，長期穩定性<2%，若要ICP-OES測量的準確性、不確定度小于0.1%，即提高10倍的準確度。
測試流程
首先，建立一個測試流程。可以把待測的元素通過選擇譜線初步建立一個方法，然后對元素初步測試，通過自動積分報告，可看到每條譜線用的曝光的時間不一樣，如對譜線總測量時間是10秒鐘，有的譜線特別強，它每次快門時間是0.01秒，即10秒鐘一共測1000次；而有的譜線快門時間是0.1秒，即10秒鐘共測100次。
獲得每個譜線測量的快門時間后，把相同的配成一對，讓它們用0.1秒的都用0.1秒，用0.01秒的都用0.01秒，然后同時進行檢測。所獲得的標準曲線也和平常的標準曲線不一樣，但其符合ISO標準要求。這時獲得了神奇的結果：雖然內標測量的結果RSD是0.3%，但真正測量的分析物RSD是0.03%、0.04%、0.07%、0.01%；即待測物的RSD均小于0.1%。
為什么？這時要了解測量誤差的主要來源。測量值等于真值加上長期的偏移和短期的噪聲，可以通過內標或重復測標樣來校正長期的漂移，校正在1%以內。接下來關鍵的是消除短期的噪聲。
有效消除短期噪聲
短期的噪聲同霧化器的控制方式有關系；一方面來自于霧化器的控制精度，另外一方面來自于蠕動泵。消除短期噪聲重要的技術是實時校正。一般的AAS儀器只有一個PMT，采用交替雙光束，無法校正瞬間電壓波動；PerkinElmer的AAS有9區域CCD，采用實時雙光束，可實時校正瞬間電壓波動。這樣，在儀器每一個讀數周期內（如10毫秒），普通AAS的交替檢測僅用半個周期測定樣品（5毫秒）；而PerkinElmer AAS的同時檢測用整個周期測定樣品（10毫秒），同時延長了樣品光束和參比光束的測量時間，提高了儀器的測定精度和準確度。
那么，ICP-OES本來是單光束的儀器，用內標后成為一個交替雙光束的儀器，如何變成實時雙光束呢？Avio 500上有兩個分段陣列式電荷耦合檢測器（SCD），紫外區和可見區各一個。每個檢測器上有235個區域，每個區域都是一個獨立控制的CCD，把它組裝在一起，加在一起一共有470個，所以我們說500：1。每一個區域都是一個獨立的CCD，每一個獨立區域的CCD的像素從30多個到100多個不等，根據所處的位置不一樣。
普通的ICP-OES只有一個CCD，測量就像照相一樣，針對不同的光強度用不同的曝光時間去測很多次，即多次曝光拍攝，然后從里面來挑合適的。一個CCD，測完這個再測那個，在不同的時間測量，所以無法補償由于霧化器、蠕動泵帶來的波動。而Avio 500有500個獨立的CCD同時測量，可實時地進行校正，從而提高10倍以上的測量精確度。
應用
誰需要這么高的測量精確度？最初是NIST制作標準溶液，總不確定度要求0.1%~0.3%。其次做固體的標準物質，比如說大米粉，或者是材料等，都有精確定值的要求。在實際樣品測量中對雜質含量可能僅要求5%的不確定度；但對于主成分，也有非常高的不確定度要求；在貴金屬測量時，ISO有特別的要求，比如0.2%~0.4%，對于大部分直接測量，要求<0.3%。目前，越來越多實驗室參加一些國際的數據比對，或參加實驗室的考核、認證等等，也有非常高的不確定度要求。
